[发明专利]一种降低单晶晶棒中的碳含量方法

摘要

本发明公开了一种降低单晶晶棒中的碳含量方法，具体包括以下步骤：（1）在炉筒下端安装液面下方热场；（2）通过吊料工序将料块放置在坩埚内，将护料布均匀铺开，该护料布上一面均匀设有牵引线，各牵引线通过牵引线导向块连接在一起，并且该牵引线导向块设置在护料布中心处，没有牵引线一面将放置在钳锅内的料块完全覆盖，钳锅降至炉筒内的下限位，且位于液面下方热场上端；（3）安装液面上方热场，安装好后开始合炉筒；（4）在炉筒合好后，一手向上提拉牵引线导向块，直接取出护料布，继续合炉；（5）合炉后，在车间指定位置，将护料布翻转使提出的石墨粉及其他杂质抖落，然后使用吹风机将护料布整体吹拂干净，连同吸盘一起运送至装料室。

主权项

1.一种降低单晶晶棒中的碳含量方法，其特征在于，具体包括以下步骤：步骤一：在炉筒下端安装液面下方热场；步骤二：通过吊料工序将8‑150mm线性尺寸不等的料块共放置在石英坩埚内，其料块总重量为200‑220kg，操作人员带一次性手套后从专用文件袋中拿出与该石英钳锅所匹配规格的护料布，该护料布上一面均匀设有多根牵引线，各牵引线通过牵引线导向块连接在一起，该牵引线导向块上设置引拉线，并且引线导向块在护料布中心处，操作人员将护料布均匀铺开，没有设置牵引线一面将放置在钳锅内的料块完全覆盖，石英钳锅降至炉筒内的下限位，同时位于液面下方热场上端；步骤三：安装液面上方热场，安装好后开始合炉筒；步骤四：在炉筒合好后，将炉筒上沿及炉盖下沿用沾酒精高纯纸擦拭干，操作人员一手抓住牵引线导向块上的引拉线，且牵引线导向块不能超过液面上方热场中的空腔，一手向上提拉引拉线，使护料布收缩至小于液面上方热场中的导流筒下口大小，直接取出，并将护料布放置在装料小车上，继续合炉；步骤五：合炉后，在车间指定位置，将护料布翻转使提出的石墨粉及其他杂质抖落，然后使用吹风机将护料布整体吹拂干净，然后装入装料小车上专用文件袋中，连同吸盘一起运送至装料室。