[发明专利]硝酸型蚀刻液在审
| 申请号： | 201811067534.0 | 申请日： | 2018-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN110894607A | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 戴泽民;杨国雄;苑伟东 | 申请（专利权）人： | 深圳市中南环保科技控股有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市罗湖区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硝酸型蚀刻液，包括：硝酸，氢离子补充剂、溶铜促进剂、阴极去极化剂、烟雾抑制剂和水。本发明的有益效果是：解决了现有的蚀刻液产生污染的氯化铜的问题，实现零排放的清洁生产；蚀刻速度快，蚀刻槽液置換次数少，作业温度低，节能增效。 | ||
| 搜索关键词： | 硝酸 蚀刻 | ||
【主权项】：
暂无信息
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