[发明专利]一种石墨烯的制备装置和制备方法在审

专利信息
申请号: 201811026678.1 申请日: 2018-09-04
公开(公告)号: CN110872116A 公开(公告)日: 2020-03-10
发明(设计)人: 代玲玲;李宝胜;吴超;何延如;赵冠超;李立伟;孟原 申请(专利权)人: 新奥科技发展有限公司
主分类号: C01B32/184 分类号: C01B32/184
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华
地址: 065001 河北省廊坊市*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明涉及石墨烯制备技术领域,特别是涉及一种石墨烯的制备装置和制备方法。该制备装置包括:石墨烯反应室,石墨烯反应室内设置有承载待反应物的加热板,与石墨烯反应室连通且设置于石墨烯反应室的一侧的等离子体腔室,位于等离子体腔室一端的等离子体喷射口,通过等离子体喷射口注入混合等离子体,混合等离子体的注入方向与待反应物的延伸方向相同,等离子体腔室内设置有磁场发生装置,石墨烯反应室内设置有电场发生装置,电场发生装置产生的加速电场的方向、磁场发生装置产生的筛选磁场的方向、待反应物的延伸方向这三者为两两垂直的关系。该装置采用筛选磁场对氩离子和氢离子进行筛分,避免了氩离子对氧化石墨烯的轰击和刻蚀作用。
搜索关键词: 一种 石墨 制备 装置 方法
【主权项】:
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