[发明专利]一种石墨烯的制备装置和制备方法在审
申请号: | 201811026678.1 | 申请日: | 2018-09-04 |
公开(公告)号: | CN110872116A | 公开(公告)日: | 2020-03-10 |
发明(设计)人: | 代玲玲;李宝胜;吴超;何延如;赵冠超;李立伟;孟原 | 申请(专利权)人: | 新奥科技发展有限公司 |
主分类号: | C01B32/184 | 分类号: | C01B32/184 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 065001 河北省廊坊市*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明涉及石墨烯制备技术领域,特别是涉及一种石墨烯的制备装置和制备方法。该制备装置包括:石墨烯反应室,石墨烯反应室内设置有承载待反应物的加热板,与石墨烯反应室连通且设置于石墨烯反应室的一侧的等离子体腔室,位于等离子体腔室一端的等离子体喷射口,通过等离子体喷射口注入混合等离子体,混合等离子体的注入方向与待反应物的延伸方向相同,等离子体腔室内设置有磁场发生装置,石墨烯反应室内设置有电场发生装置,电场发生装置产生的加速电场的方向、磁场发生装置产生的筛选磁场的方向、待反应物的延伸方向这三者为两两垂直的关系。该装置采用筛选磁场对氩离子和氢离子进行筛分,避免了氩离子对氧化石墨烯的轰击和刻蚀作用。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 制备 装置 方法 | ||
【主权项】:
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