[发明专利]一种蒸镀设备有效
| 申请号： | 201810669135.5 | 申请日： | 2018-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN108642454B | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 常建兵;刘金强;刘玉成 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种蒸镀设备，该设备包括：蒸发源，所述蒸发源位于蒸镀腔室内；罩体，所述罩体罩设在所述蒸发源的蒸汽输出端上，所述罩体上设有用于降低所述罩体所罩设空间内蒸汽压的冷却结构；在外力作用下，所述罩体从所述蒸发源的蒸汽输出端处移开，原罩设空间内的蒸汽压保持不变，较现有技术，有效避免了蒸镀设备的蒸镀速率的波动，致使形成的蒸镀层厚度出现偏差的现象发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：蒸发源，所述蒸发源位于蒸镀腔室内；罩体，所述罩体罩设在所述蒸发源的蒸汽输出端上，所述罩体上设有用于降低所述罩体所罩设空间内蒸汽压的冷却结构；在外力作用下，所述罩体从所述蒸发源的蒸汽输出端处移开。
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