[发明专利]一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀及单晶炉

摘要

本发明公开了一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀，包括翻板、翻转轴、连接翻转轴及翻板的连接板；其中在翻板内部设置了水道，可以通过引入冷却水的方式在翻板内部的水道流动带走翻板的热量，以达到冷却的效果，同时从翻转轴中的两个轴体分别引入进水通道及排水通道，这样不需要重新再设置其他管道结构，直接利用本身存在的翻转轴即可实现冷却水的引入。

主权项

1.一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀，包括翻板、翻转轴、连接翻转轴及翻板的连接板；所述翻转轴包括轴套、插设在轴套一端第一轴体、插设在轴套另一端的第二轴体，第一轴体、第二轴体与轴套同轴设置；其特征在于：所述翻板中央位置设有向上凸出的一对座体，该座体之间横向设有转轴，所述连接板的一端固定连接于轴套上而连接板的另一端通过转轴与座体铰接；所述翻板内设有若干相互连通的水道，且该水道的进口与出口位于翻板的上表面靠近轴套的位置；还设置连通该水道进口的进水管、连通该水道出口的排水管；所述第一轴体设有进水通道，该进水通道的一端贯通该第一轴体的外端，该进水通道的另一端连接所述进水管并通过进水管与水道进口连通；所述第二轴体设有排水通道，该排水通道的一端贯通该第二轴体的外端，该排水通道的另一端连接所述排水管并通过排水管与水道出口连通；所述进水管包括进水引管及进水弯管，所述进水弯管在翻板上方弯曲延伸，且进水弯管的一端连接进水引管而另一端连通水道进口，所述进水引管一端连接进水弯管而另一端连通进水通道；所述排水管包括排水引管及排水弯管，所述排水弯管在翻板上方弯曲延伸，且排水弯管的一端连接排水引管而另一端连通水道出口，所述排水引管一端连接排水弯管而另一端连通排水通道。