[发明专利]一种新型气相沉积设备在审
| 申请号： | 201810620981.8 | 申请日： | 2018-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN108425088A | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 叶侃 | 申请（专利权）人： | 叶侃 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C16/00 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 连围 |
| 地址： | 528226 广东省佛山市南海区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型气相沉积设备，其包括底座、操作台、沉积箱、沉积箱导管等，底座位于操作台的下面，操作台位于沉积箱的下面，沉积箱的一端与操作台相连，沉积箱导管位于沉积箱的左侧，沉积箱保护盖的位于出液口的下面，工作状态指示灯的一端与操作台相连，出液口的一端与沉积箱保护盖相连，后置保护盖位于沉积箱的右侧，控制电箱位于工作状态指示灯的右侧，操作按钮位于工作状态指示灯的下面，把手位于参数显示表的下面，安装槽位于伺服电机的右侧，移动安装板位于伺服电机的下面，参数显示表位于安装槽的左侧。本发明操作简单、设计合理，简化了安装过程，加强了整体的结构，延长了使用寿命，降低了维修成本。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积箱 操作台 工作状态指示灯 保护盖 气相沉积设备 参数显示 伺服电机 安装槽 出液口 导管 底座 移动安装板 安装过程 操作按钮 控制电箱 使用寿命 维修成本 后置 把手 | ||
【主权项】：
1.一种新型气相沉积设备，其特征在于，其包括底座、操作台、沉积箱、沉积箱导管、沉积箱保护盖、工作状态指示灯、出液口、后置保护盖、控制电箱、操作按钮，底座位于操作台的下面，操作台位于沉积箱的下面，沉积箱的一端与操作台相连，沉积箱导管位于沉积箱的左侧，沉积箱保护盖的位于出液口的下面，工作状态指示灯的一端与操作台相连，出液口的一端与沉积箱保护盖相连，后置保护盖位于沉积箱的右侧，控制电箱位于工作状态指示灯的右侧，操作按钮位于工作状态指示灯的下面，其中：控制电箱包括伺服电机、把手、安装槽、移动安装板、参数显示表，伺服电机位于参数显示表的下面，把手位于参数显示表的下面，安装槽位于伺服电机的右侧，移动安装板位于伺服电机的下面，参数显示表位于安装槽的左侧。
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