[发明专利]多层耐高温Ti/Zr共掺杂类金刚石涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201810567107.2 | 申请日： | 2018-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN108728802B | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 齐福刚;曹红帅;欧阳晓平;李贝贝;罗文忠;钟向丽;赵镍;刘应都;陈静 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/14 |
| 代理公司： | 长沙星耀专利事务所(普通合伙) 43205 | 代理人： | 吴迪 |
| 地址： | 411105 湖南省湘*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多层耐高温Ti/Zr共掺杂类金刚石涂层及其制备方法，涂层的结构为：粘结层、中间过渡层、表面涂层，其中粘结层为金属TiZr，中间过渡层为(Ti、Zr)C，表面涂层为(Ti、Zr)/DLC；其制备方法为采用磁过滤阴极真空弧沉积技术，依次在预处理后的基体表面沉积粘结层、成分梯度变化的中间过渡层和表面涂层；本发明通过多元素共掺杂技术、多层涂层技术和磁过滤阴极真空电弧沉积技术制备的多层耐高温Ti/Zr共掺杂类金刚石涂层具有低内应力、高硬度、优异的膜基结合强度、耐高温性能及耐摩擦性能，增加了类金刚石涂层的使用寿命，拓宽了其应用领域。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 耐高温 ti zr 掺杂 金刚石 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.多层耐高温Ti/Zr共掺杂类金刚石涂层，其特征在于，该涂层附着在基体上，由里至外包括有粘结层、中间过渡层和表面涂层；粘结层中Ti原子数百分含量为75～83at.％，Zr的原子数百分含量为17～25at.％；中间过渡层中Ti原子数百分含量为20～25at.％，Zr的原子数百分含量为5～15at.％，C原子数百分含量为65～75at.％；表面涂层中Ti原子数百分含量为2～20at.％，Zr的原子数百分含量为1～10at.％，C原子数百分含量为70～97at.％。
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