[发明专利]一种用于提高二次离子质谱仪选样效率的装置有效

专利信息
申请号: 201810525314.1 申请日: 2018-05-28
公开(公告)号: CN108872358B 公开(公告)日: 2020-03-24
发明(设计)人: 杨晴;夏小平;张彦强;张万峰;刘铭亮 申请(专利权)人: 中国科学院广州地球化学研究所
主分类号: G01N27/64 分类号: G01N27/64
代理公司: 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 代理人: 刘明星
地址: 510640 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种用于提高二次离子质谱仪选样效率的装置,包括计算机、显微镜主体、显微镜载物台和坐标转换系统,显微镜载物台上安装有限位器模块、驱动模块和位置感应模块,显微镜主体、限位器模块、驱动模块和位置感应模块与计算机相连,计算机控制驱动模块在显微镜载物台上移动,限位器模块限制驱动模块的最大位移,位置感应模块感应驱动模块的移动位置坐标,坐标转换系统将移动位置坐标转换为二次离子质谱仪相应的坐标。本发明装置是在原有的显微镜中进行改造而得到,其成本低、操作方便,能全自动精确进行显微镜下选点,并且通过坐标转换系统可以精确转换坐标,保证了二次离子质谱仪的做样的位置精度,节省了二次离子质谱仪的选样时间。
搜索关键词: 一种 用于 提高 二次 离子 质谱仪 选样 效率 装置
【主权项】:
1.一种用于提高二次离子质谱仪选样效率的装置,其特征在于:包括计算机、显微镜主体、显微镜载物台和坐标转换系统,所述显微镜载物台上安装有限位器模块、驱动模块和位置感应模块,所述显微镜主体、限位器模块、驱动模块和位置感应模块分别通过数据线与所述计算机相连,所述计算机控制所述驱动模块在所述显微镜载物台上移动,所述限位器模块限制所述驱动模块的最大位移,所述位置感应模块感应所述驱动模块的移动位置坐标,所述坐标转换系统将所述移动位置坐标转换为二次离子质谱仪相应的坐标。
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