[发明专利]一种激光离子源装置在审
| 申请号： | 201810523820.7 | 申请日： | 2018-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN108511309A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 卢亮;卢治国 | 申请（专利权）人： | 河南太粒科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/04 |
| 代理公司： | 郑州汇科专利代理事务所(特殊普通合伙) 41147 | 代理人： | 李伟 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市高新技术产业开发区西三*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光离子源装置，它包括外靶室和内靶室，外靶室为真空密封状态，内靶室通过绝缘柱固定连接在外靶室内部的底面上，内靶室内设置有光学镜片，内靶室的左侧面上连接有离子引出内管道，离子引出内管道的外部设置有离子引出外管道，离子引出外管道的右端与外靶室相连，内靶室的顶面上设置有安装孔，安装孔内设置有安装架，安装架上与光学镜片相对应的位置设置有靶，安装架的顶端设置在靶移动平台上，靶移动平台通过支撑装置固定在外靶室的外侧面上，外靶室的底面上连接有真空管道，真空管道的另一端通过匹配管道与真空泵相连，内靶室通过金属高压线与高压接口相连；总的，本发明具有结构小巧、使用安全方便的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 靶室 离子 安装架 光学镜片 激光离子 移动平台 真空管道 安装孔 内管道 外管道 源装置 真空密封状态 顶端设置 高压接口 外部设置 支撑装置 高压线 绝缘柱 室内部 真空泵 匹配 金属 室内 | ||
【主权项】：
1.一种激光离子源装置，它包括外靶室和内靶室，其特征在于：所述的外靶室为真空密封状态，所述的内靶室通过绝缘柱固定连接在外靶室内部的底面上，所述的内靶室内设置有光学镜片，所述的内靶室的侧面上光学镜片的后方设置有激光孔A，所述的内靶室的左侧面上连接有离子引出内管道，所述的离子引出内管道的左端连接有活套螺丝管道，所述的离子引出内管道的外部设置有离子引出外管道，所述的离子引出外管道的右端与外靶室相连，所述的内靶室的顶面上设置有安装孔，所述的安装孔内设置有安装架，所述的安装架上与光学镜片相对应的位置设置有靶，所述的安装架的顶端设置在靶移动平台上，所述的靶移动平台通过支撑装置固定在外靶室的外侧面上，所述的外靶室上与激光孔A相对应的位置设置有激光孔B，所述的激光孔B由玻璃密封，所述的外靶室的底面上连接有真空管道，所述的真空管道的另一端通过匹配管道与真空泵相连，所述的内靶室通过金属高压线与高压接口相连，所述的高压接口固定在外靶室的外侧面上。
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