[发明专利]能够高分辨率印刷的通用型有机蒸气喷射沉积器和用于OVJP印刷的方法在审
| 申请号： | 201810520563.1 | 申请日： | 2018-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN108930016A | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 徐欣;G·麦格劳;W·E·奎因 | 申请（专利权）人： | 环球展览公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56;H01L51/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 李琳 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本申请涉及能够高分辨率印刷的通用型有机蒸气喷射沉积器和用于OVJP印刷的方法。提供OVJP沉积器和使用其的技术，其中递送和约束流的衬底平面内速度都不为零并且穿过两者之间的边界彼此平行。这些配置提供提高的材料利用效率和放松的飞行高度公差，同时实现可接受的印刷分辨率和特征均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 高分辨率印刷 喷射沉积 有机蒸气 通用型 印刷 彼此平行 材料利用 衬底平面 高度公差 配置提供 递送 沉积器 均匀性 可接受 分辨率 束流 穿过 飞行 放松 申请 | ||
【主权项】：
1.一种有机蒸气喷射印刷OVJP沉积器，其包含：递送孔口，其与将沉积在衬底上的有机材料的来源和运载气体流体连通；安置在所述递送孔口前方的第一排气孔口；安置在所述递送孔口后方的第二排气孔口；侧向邻近所述递送孔口安置的第一约束气体孔口；和侧向邻近所述递送孔口并相对于所述第一约束气体孔口与所述第一约束气体孔口相对安置的第二约束气体孔口。
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