[发明专利]掩模装置及其操作方法、蒸镀装置有效
| 申请号： | 201810503894.4 | 申请日： | 2018-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN108546915B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 申少雄 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/50;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 彭久云 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种掩模装置及其操作方法、蒸镀装置，该掩模装置包括掩模板和至少一个可转动块。掩模板在第一方向上具有彼此相对的第一侧边和第二侧边,可转动块设置在掩模板的第一侧边和第二侧边的至少一个侧边且能够与掩模板的板面相接触。可转动块可在垂直于掩模板板面的平面内旋转并与掩模板的板面产生摩擦，从而使得掩模板的边缘部分受到远离掩模板中心方向的摩擦力。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩模装置，包括：掩模板，具有在第一方向上彼此相对的第一侧边和第二侧边；至少一个可转动块，能够与在所述掩模板的所述第一侧边和所述第二侧边的至少一个侧边的掩模板的板面相接触；其中，所述可转动块可在垂直于所述掩模板板面的平面内旋转并与所述掩模板的板面产生摩擦，从而使得所述掩模板的边缘部分受到远离所述掩模板中心方向的摩擦力。
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