[发明专利]结构简单便于安装的组合泵有效
| 申请号： | 201810478959.4 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN108757380B | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 郭卫斌;薛函迎;柴云川;王浏杰 | 申请（专利权）人： | 南京华东电子真空材料有限公司 |
| 主分类号： | F04B35/04 | 分类号： | F04B35/04;F04B39/00;F04B39/12;F04B39/14;F04B41/06 |
| 代理公司： | 32215 南京君陶专利商标代理有限公司 | 代理人： | 沈根水<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 210034 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种结构简单便于安装的组合泵，它包括一个或多个阳极室组成的用以连接高压的阳极筒，一个或多个用于固定吸气剂泵的底座以及由一组或多组多孔吸气材料组成的吸气剂泵，其特征是固定吸气剂泵的底座同时作为溅射离子泵的阴极使用。优点：1）底座作为阴极使用，可以显著缩小组合泵的体积便于安装在标准电极法兰上，便于组合泵的制造、安装和维修。2）通过增加吸气剂泵长度方向的尺寸或者增加吸气剂泵截面的面积可以调整吸气剂泵的装载量。3）安装简便，可以最大限度的降低真空系统的漏放率，最多用一个接口就可以连接到真空腔上。 | ||
| 搜索关键词： | 吸气剂泵 组合泵 便于安装 底座 阴极 多孔吸气材料 溅射离子泵 标准电极 真空系统 阳极室 阳极筒 真空腔 装载量 法兰 维修 制造 | ||
【主权项】：
1.一种结构简单便于安装的组合泵，包括一个或多个阳极室组成的用以连接高压的阳极筒，一个或多个用于固定吸气剂泵的底座以及由一组或多组多孔吸气材料组成的吸气剂泵，其特征是固定吸气剂泵的底座同时作为溅射离子泵的阴极使用；所述底座为“几”字形，阳极筒设于底座下部的空腔中，开口正对两个底座互相平行的平面；/n还包括一与底座相同材质的金属棒，其穿过阳极筒围成的空腔，并固定在底座上。/n
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