[发明专利]一种靶材的绑定方法

摘要

本发明属于靶材绑定技术领域，具体涉及一种靶材的绑定方法。所述靶材的绑定方法包括以下步骤：准备铜背板和靶材、粘贴高温胶带、启动加热平台、涂抹铟液、靶材与铜背板对接、校平、除去高温胶带、超声波探伤、第一次清洗、抛光、第二次清洗、贴膜、包装，完成绑定。本发明操作简单，铟液在靶材和铜背板表面均匀度好，靶材与铜背板结合紧密，无间隙和气孔，靶材与铜背板结合率可达到98.5%以上，平整度在0.5mm以内，产品质量高。

主权项

1.一种靶材的绑定方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）准备铜背板和靶材，所述靶材为铜靶材或者钼靶材；将铟提前熔化为铟液，备用；（2）将靶材和铜背板做好对接标识，然后在靶材非工作区域粘贴第一高温胶带，在背板非工作区域粘贴第二高温胶带；（3）将步骤（2）处理后的靶材和铜背板背铟面向上，并列平铺放置于加热平台上，启动加热平台，均匀升温到200~240℃后保温20~40min，然后将步骤（1）铟液均匀涂抹在靶材与铜背板的背铟面工作区域，涂抹3~5 遍，每遍4~6min，靶材和铜背板上铟液的涂抹厚度均为0.4~0.8mm；（4）采用真空吸盘将步骤（3）处理后的靶材吸起，翻转180°，按照对接标识将靶材与铜背板背铟面对接，将压块置于靶材远离铜背板的表面，观察靶材侧边是否有铟液流出，若无流出则满足要求，若流出则收集回收利用，然后将对接后的靶材冷却至室温；（5）将步骤（4）处理后的靶材进行校平、除去高温胶带、超声波探伤、第一次清洗、抛光、第二次清洗、贴膜、包装，完成绑定。