[发明专利]一种高温高真空环境下的多工位自动对心装置有效
| 申请号： | 201810462781.4 | 申请日： | 2018-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN108666189B | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 高贵斌 | 申请（专利权）人： | 北京中科科美科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/26 | 分类号： | H01J9/26 |
| 代理公司： | 11210 北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 黄敏华 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高温高真空环境下的多工位自动对心装置，包括主真空腔室，主真空腔室位于腔室底盘上，主真空腔室内设有支承旋转定位机构，支承旋转定位机构的主轴穿出主真空腔室固定在腔室底盘上，支承旋转定位机构上设有放置工件的三个工位，工件通过工件卡具固定在支承旋转定位机构上，工件卡具上设有导向块，主真空腔室的下方设有MCP组件托盘，MCP组件托盘上承载有MCP组件，MCP组件包括下可伐盘，MCP组件托盘下方设有MCP升降机构，MCP升降机构位于MCP腔内。本发明的有益效果：利用支承旋转定位机构实现三工位工件的初步对心，然后利用MCP组件托盘中调节底盘可在支撑调节盘内水平方向上360度自由滑动的特性和工件卡具导向底部的几何尺寸实现自动对心。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转定位机构 腔室 主真空 支承 组件托盘 工件卡具 底盘 自动对心装置 高真空环境 升降机构 多工位 放置工件 自动对心 自由滑动 组件包括 导向块 调节盘 可伐盘 三工位 穿出 对心 工位 腔内 承载 室内 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种高温高真空环境下的多工位自动对心装置，包括主真空腔室（1），所述主真空腔室（1）位于腔室底盘（6）上，所述主真空腔室（1）的下方设有MCP组件托盘（7），所述MCP组件托盘（7）上承载有MCP组件（3），所述MCP组件（3）包括下可伐盘（31），所述MCP组件托盘（7）下方设有MCP升降机构（8），所述MCP升降机构（8）位于MCP腔（9）内，其特征在于：所述主真空腔室（1）内设有支承旋转定位机构（4），所述支承旋转定位机构（4）的主轴穿出所述主真空腔室（1）固定在腔室底盘（6）上，所述支承旋转定位机构（4）上设有放置工件（2）的三个工位，所述工件（2）通过工件卡具（5）固定在支承旋转定位机构（4）上，所述工件卡具（5）上设有导向块（51）； 所述MCP组件托盘（7）包括调节底盘（76）和支撑调节盘（74），所述调节底盘（76）的内圆与支撑调节盘（74）之间的间隙内放置有调节弹片（75），所述调节底盘（76）上固定有加热支撑盘（71）和陶瓷电极盘（72），所述支撑调节盘（74）上固定有调节盘压环（73），所述支撑调节盘（74）与下方的MCP升降机构（8）连接。/n
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