[发明专利]一种利用紫外光活化键合叠加式放置的玻璃与其他材料的方法

摘要

本发明公开了一种利用紫外光活化键合叠加式放置的玻璃与其他材料的方法，所述方法步骤如下：对待键合材料的表面进行清洗→放置楔形片→放置玻璃晶片→活化待键合的晶片对→抽出楔形→手动施压完成键合。本发明通过利用紫外光能透过玻璃晶片对下方材料的待键合表面进行活化的方法，实施活化过程中的原位键合，既能减少污染物颗粒在表面的亲水性表面的吸附，也能在一定程度上降低人为因素的干扰，能够有效地提高玻璃与其他材料的键合质量，降低键合过程中的缺陷。

主权项

1.一种利用紫外光活化键合叠加式放置的玻璃与其他材料的方法，其特征在于所述方法具体实施步骤如下：一、将待键合的玻璃晶片材料和非玻璃晶片材料以及若干枚楔形片进行清洗；二、取若干枚楔形片均匀地置于待键合的非玻璃晶片材料表面的边缘；三、将待键合的玻璃晶片材料置于楔形片的上方，使得待键合的玻璃晶片材料表面与另一待键合的非玻璃晶片材料表面相对；四、将放置好的待键合晶片对置于紫外光光源正下方进行照射活化；五、完成活化后，原位抽去楔形片，使得待键合表面相互贴合；六、关闭紫外光光源，取出表面贴合的晶片对，手动施加压力完成键合。