[发明专利]承载装置和曝光机在审
| 申请号： | 201810377953.8 | 申请日： | 2018-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN108628108A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 胡森文 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种承载装置和曝光机，其中承载装置包括一设置在第一预设高度范围的承载台、多个设置在第二预设高度范围的承载台，以及一换位结构；设置在第一预设高度范围的承载台，以及多个设置在第二预设高度范围的承载台，用于承载掩膜版；换位结构，用于在设置在第一预设高度范围的承载台承载了掩膜版后，从多个设置在第二预设高度范围的承载台中，获取未承载掩膜版的目标承载台，并对设置在第一预设高度范围的承载台和目标承载台，进行位置互换。该方案在设置在第一预设高度范围的承载台承载了掩膜版后，将其与目标承载台进行位置互换，以将掩膜版放入设置在第一预设高度的承载台，从而降低了掩膜版的损坏率。 | ||
| 搜索关键词： | 预设 承载台 掩膜版 承载 承载装置 目标承载 换位结构 位置互换 曝光机 损坏率 放入 | ||
【主权项】：
1.一种承载装置，应用于曝光机，其特征在于，包括一设置在第一预设高度范围的承载台、多个设置在第二预设高度范围的承载台，以及一换位结构；所述设置在第一预设高度范围的承载台，以及所述多个设置在第二预设高度范围的承载台，用于承载掩膜版；所述换位结构，用于在掩膜版放入之前，判断所述设置在第一预设高度范围的承载台是否承载了掩膜版，如承载了掩膜版，则从所述多个设置在第二预设高度范围的承载台中，获取未承载掩膜版的目标承载台，并对所述设置在第一预设高度范围的承载台和所述目标承载台，进行位置互换，以将掩膜版放入设置在第一预设高度范围的承载台。
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