[发明专利]薄膜表面的缺陷检测装置在审
| 申请号： | 201810365670.1 | 申请日： | 2018-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN108872261A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 金润赫 | 申请（专利权）人： | HB技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健;张国香 |
| 地址： | 韩国忠清*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明是检测测量物表面的缺陷的检测装置，涉及一种薄膜表面的缺陷检测装，通过生成光并将所述生成的光向所述测量物表面入射的照明部和获取通过所述入射的光而生成的图案的图案获取部分析所述获取的图案，检测薄膜表面的缺陷，并且，所述照明部的中心轴与所述图案获取部的中心轴一致。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜表面 图案获取 照明部 中心轴 入射 缺陷检测装置 图案 测量物表面 检测测量 检测装置 缺陷检测 检测 分析 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜表面的缺陷检测装置，作为检测测量物表面的缺陷的检测装置，其特征在于，通过生成光并将所述生成的光向所述测量物表面入射的照明部和获取通过所述入射的光而生成的图案的图案获取部分析所述获取的图案，检测薄膜表面的缺陷，并且，在所述测量物的上部形成有物镜。
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