[发明专利]薄膜表面的缺陷检测装置

说明书

本发明是检测测量物表面的缺陷的检测装置，涉及一种薄膜表面的缺陷检测装，通过生成光并将所述生成的光向所述测量物表面入射的照明部和获取通过所述入射的光而生成的图案的图案获取部分析所述获取的图案，检测薄膜表面的缺陷，并且，所述照明部的中心轴与所述图案获取部的中心轴一致。

技术领域

本发明涉及薄膜表面的缺陷检测装置，尤其，涉及一种向检测对象的测量物照射倾斜照明，以便检测在所述测量物的表面生成的缺陷的薄膜表面的缺陷检测装置。

背景技术

一般而言，在要测量的物体的薄膜表面发生的缺陷的种类有突出、凹陷、刮痕等，以往为了确认上述的缺陷使用了各种缺陷检测系统。

上述的检测系统为了检测缺陷，在检测装置安装环形照明，从各种角度向物体的表面照射光，以测量缺陷。

但，上述的所述缺陷检测可适用于尺寸较大的测量物的，而尺寸较小的测量物，无法安装所述环形照明，而无法使用所述环形照明。

并且，对于表面形成较低的倾斜角度，由垂直方向入射光线的通常的同轴光学系技术无法检测所述缺陷。

先行技术文献

专利文献

(专利文献1)韩国公开专利公报公开号第10-2007-0024393号

发明的内容

发明要解决的技术问题

为了解决上述的问题，本发明提供一种替代用于测量较大尺寸的测量物的薄膜表面的缺陷的环形照明，而具有与所述环形照明相同的效果的照明。

从而，本发明提供一种检测测量物表面的缺陷的检测装置，其通过生成光并将所述生成的光向测量物表面入射的照明部和获取通过所述入射的光生成的图案的图案获取部而分析获取的图案，检测薄膜表面的缺陷，并且，在所述照明部与所述测量物之间，安装将由所述照明部生成的光进行分离的光分离部，以使由所述照明部生成的光向所述测量物表面入射时能够倾斜地入射，由此，使得从各种角度入射倾斜光，而能够看清所述测量物的缺陷。

但，本发明的目的并非局限于上述涉及的目的，本发明的技术领域的技术人员应当理解未涉及的其他目的。

解决问题的技术方案

为了实现上述目的，本发明作为检测测量物表面的缺陷的检测装置，通过生成光并将所述生成的光向所述测量物表面入射的照明部和获取通过所述入射的光而生成的图案的图案获取部分析所述获取的图案，检测薄膜表面的缺陷，并且，在所述测量物的上部形成有物镜。

此时，通过所述图案获取部的中心及所述物镜的中心的垂直中心轴与通过所述照明部的中心的水平中心轴在所述图案获取部与所述物镜之间相遇，还形成有通过所述水平中心轴与所述垂直中心轴相遇的地点而使得反射面倾斜45°地配置的分束器，由所述照明部生成的光通过所述分束器反射，向所述测量物的表面入射，从所述测量物反射的光透过所述分束器向所述图案获取部入射。

并且，在所述照明部与所述测量物之间形成有光分离部，其将由所述照明部生成的光进行分离，使得由所述照明部生成的光向所述测量物表面入射时能够倾斜地入射。

此时，所述光分离部由圆形狭缝片形成，所述圆形狭缝片的中心轴与所述照明部的中心轴一致。

并且，在所述圆形狭缝片形成有使得所述照明部的光通过的光通过部，并且，所述光通过部形成于以所述圆形狭缝片的中心轴为基准形成的外周面与内周面之间，所述内周面的内侧和所述外周面的外侧形成堵塞的结构。

并且，通过所述光通过部的光的波前形成具有内周面和外周面的甜甜圈形状，所述甜甜圈形状的光通过物镜向所述测量物的表面入射时，具有所述甜甜圈形状的光的内周面和外周面的直径逐渐变小入射，而使得所述甜甜圈形状的光的成像倾斜地向测量物的表面入射。