[发明专利]薄膜表面的缺陷检测装置

权利要求书

1.一种薄膜表面的缺陷检测装置，作为检测测量物表面的缺陷的检测装置，其特征在于，

通过生成光并将所述生成的光向所述测量物表面入射的照明部和获取通过所述入射的光而生成的图案的图案获取部分析所述获取的图案，检测薄膜表面的缺陷，

并且，在所述测量物的上部形成有物镜。

2.根据权利要求1所述的薄膜表面的缺陷检测装置，其特征在于，

通过所述图案获取部的中心及所述物镜的中心的垂直中心轴与通过所述照明部的中心的水平中心轴在所述图案获取部与所述物镜之间相遇，

还形成有通过所述水平中心轴与所述垂直中心轴相遇的地点而使得反射面倾斜45°地配置的分束器，

由所述照明部生成的光通过所述分束器反射，向所述测量物的表面入射，

从所述测量物反射的光透过所述分束器向所述图案获取部入射。

3.根据权利要求1所述的薄膜表面的缺陷检测装置，其特征在于，

在所述照明部与所述测量物之间形成有光分离部，其将由所述照明部生成的光进行分离，使得由所述照明部生成的光向所述测量物表面入射时能够倾斜地入射。

4.根据权利要求3所述的薄膜表面的缺陷检测装置，其特征在于，

所述光分离部由圆形狭缝片形成，所述圆形狭缝片的中心轴与所述照明部的中心轴一致。

5.根据权利要求4所述的薄膜表面的缺陷检测装置，其特征在于，

在所述圆形狭缝片形成有使得所述照明部的光通过的光通过部，

并且，所述光通过部形成于以所述圆形狭缝片的中心轴为基准形成的外周面与内周面之间，所述内周面的内侧和所述外周面的外侧形成堵塞的结构。

6.根据权利要去1至5所述的薄膜表面的缺陷检测装置，其特征在于，

在所述测量物与所述图案获取部之间配置有光圈，

所述光圈能够调整使得光通过的光圈口径。

7.根据权利要求1所述的薄膜表面的缺陷检测装置，其特征在于，

所述照明部由光源和照明透镜形成，

所述图案获取部由摄像头和成像透镜形成。