[发明专利]一种微质量传感器有效
申请号: | 201810253647.3 | 申请日: | 2018-03-26 |
公开(公告)号: | CN108489577B | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 李凯;彭志辉 | 申请(专利权)人: | 温州大学 |
主分类号: | G01G9/00 | 分类号: | G01G9/00 |
代理公司: | 33237 温州金瓯专利事务所(普通合伙) | 代理人: | 陈晖 |
地址: | 325000 浙江省温州市瓯海*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种微质量传感器。它包括基底、设于基底上的定电极、吸附层,所述基底上还设有振动结构,所述振动结构包括金属活动板、支撑梁及梁的锚点,所述金属活动板与支撑梁连接,通过锚点固定于基底上,金属活动板同时作为动电极,与定电极构成可变电容。本发明利用微质量物质吸附于振动结构后引起其振动频率变化的原理工作。本发明以活动板和支撑梁构成振动结构,能够有效抑制微质量物质在振动结构上位置对测量结果的影响;以金属活动板作为动电极,具有较大面积,有利于提高动电极上的静电驱动力,有利于提高动、定电极间电容值,有利于提高传感器的抗干扰性。 | ||
搜索关键词: | 振动结构 金属活动板 基底 定电极 动电极 支撑梁 微质量传感器 微质量 锚点 静电驱动力 可变电容 物质吸附 有效抑制 振动频率 活动板 上位置 吸附层 电容 传感器 | ||
【主权项】:
1.一种微质量传感器,包括:基底(1)、设于基底(1)上的定电极(2)、吸附层(8),其特征在于:所述基底(1)上还设有振动结构,所述振动结构包括金属活动板(6)、支撑梁(5)及梁的锚点(4),所述金属活动板(6)与支撑梁(5)连接,通过锚点(4)固定于基底(1)上,所述金属活动板(6)同时作为动电极,并与所述定电极(2)构成可变电容,所述金属活动板(6)为刚性圆板,在传感器处于工作状态时,金属活动板(6)因刚度远大于支撑梁(5)而仅作平移运动,只有支撑梁(5)发生变形,定、动电极任意之一接地并同时接入至驱动电路和检测电路,另一电极在检测微质量时先施加驱动电压以静电力使振动结构发生振动,然后接入至电容检测电路,支撑梁(5)及其锚点(4)与刚性圆板构成一体式组合结构,同为金属材料。/n
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