[发明专利]一种多功能的蚀刻装置

摘要

本发明公开一种多功能的蚀刻装置，包括反应槽、多轴运动机械手臂、溢流槽、循环洁净单元、喷淋单元和入射单元，所述多轴运动机械手臂设置在反应槽上方，所述溢流槽设置在反应槽外部的四周，所述循环洁净单元用于抽取并过滤抽取的液体，喷淋单元设置在反应槽的槽口且喷淋方向指向反应槽的槽口，所述入射单元设置在反应槽的底部，循环洁净单元的第一进液口与反应槽底部连通。上述技术方案通过多轴运动机械手臂可以实现晶圆在溶液内不同方向的运动，可以移动晶圆到不同的反应槽内进行反应或者清洗。喷淋单元可以避免晶圆上的反应物残留，进而提高化学蚀刻的品质。抛物面的反射罩可以实现均匀场流，进而提高化学蚀刻的品质。

主权项

1.一种多功能的蚀刻装置，其特征在于：包括反应槽、多轴运动机械手臂、溢流槽、循环洁净单元、喷淋单元和入射单元，所述多轴运动机械手臂设置在反应槽上方，所述溢流槽设置在反应槽外部的四周，所述循环洁净单元用于抽取并过滤抽取的液体，喷淋单元设置在反应槽的槽口且喷淋方向指向反应槽的槽口，所述入射单元设置在反应槽的底部，循环洁净单元的第一进液口与反应槽底部连通，循环洁净单元的第二进液口与溢流槽底部连通，所述入射单元包括入射管和反射罩，所述反射罩上表面为设置通孔的平面，下表面为抛物面，所述入射管置于所述抛物面的抛物线所在的焦点处，所述入射管上设置有方向指向抛物面的入射孔，循环洁净单元的第二出液口与入射管连接。