[发明专利]一种在云母衬底上制备二维三硫化二铟单晶的方法在审
| 申请号： | 201810196099.5 | 申请日： | 2018-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN108531981A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 招瑜;陆健婷;李京波 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/46;C30B29/64 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 杨晓松 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在云母衬底上制备二维三硫化二铟单晶的方法，包括如下步骤：S1：清洗云母片；S2：材料准备：称量10‑15mg三硫化二铟粉末，将三硫化二铟粉末放置在干净的石英舟上，将清洗过的云母片平放在石英舟的上方，然后将石英舟放置在管式炉内；S3：气流控制：完全打开管式炉的进气阀与出气阀，打开氩气瓶，调节气体流量计气流量为500‑600sccm，向管式炉的石英管通入氩气10‑30分钟，以排尽空气杂质；S4：加热生长：打开管式炉，在20分钟内从室温升至980度，在980度保温5‑10分钟后自然冷却，得到二维三硫化二铟单晶。本发明具有所需设备和制备工艺简单、生长时间短，可直接得到结晶良好、纯度较高、尺寸较大的二维三硫化二铟等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 硫化 管式炉 二维 石英舟 单晶 云母 云母片 衬底 制备 清洗 气体流量计 氩气 材料准备 空气杂质 气流控制 完全打开 制备工艺 出气阀 进气阀 气流量 石英管 氩气瓶 生长 称量 加热 保温 | ||
【主权项】：
1.一种在云母衬底上制备二维三硫化二铟单晶的方法，其特征在于：包括如下步骤：S1：清洗云母片；S2：材料准备：称量10‑15mg三硫化二铟粉末，将三硫化二铟粉末放置在干净的石英舟上，将清洗过的云母片平放在石英舟的上方，然后将石英舟放置在管式炉内；S3：气流控制：完全打开管式炉的进气阀与出气阀，打开氩气瓶，调节气体流量计气流量为500‑600sccm，向管式炉的石英管通入氩气10‑30分钟，以排尽空气杂质；S4：加热生长：打开管式炉，在20分钟内从室温升至980度，在980度保温5‑10分钟后自然冷却，得到二维三硫化二铟单晶。
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