[发明专利]一种新型湿法蚀刻装置

摘要

本发明公开了一种新型湿法蚀刻装置，包括主体外壳、喷洒管道和过滤器，所述主体外壳的上端设置有上层顶盖，所述上层顶盖的内部设置有观察窗口，所述固定轴承的左侧设置有固定圈，所述固定轴承的右侧设置有活动杆，所述喷洒管道的右端设置有定位卡板，所述喷洒管道的下方设置有管路，所述工作台的内部设置有销孔，所述工作台的下方设置有泵仓，所述泵仓的右侧设置有储液仓，所述过滤器的下方设置有加热管。该新型湿法蚀刻装置，与现有的普通蚀刻装置相比，摒弃了原始的操作方式，通过结构的增加使整个装置在使用过程中具有更高的加工效率，蚀刻的构架均匀，并且工件的装夹、拿取都较为快捷方便，可以很好的满足人们的使用需求。

主权项

一种新型湿法蚀刻装置，包括主体外壳(1)、喷洒管道(9)和过滤器(19)，其特征在于：所述主体外壳(1)的上端设置有上层顶盖(2)，且主体外壳(1)的左端上方内部设置有固定轴承(3)，所述上层顶盖(2)的内部设置有观察窗口(4)，所述固定轴承(3)的左侧设置有固定圈(5)，且固定圈(5)的内部安装有摆动电机(6)，所述固定轴承(3)的右侧设置有活动杆(7)，且活动杆(7)的右端上方设置有固定螺母(8)，所述喷洒管道(9)的右端设置有定位卡板(10)，且喷洒管道(9)位于主体外壳(1)的内部上方，所述喷洒管道(9)的下方设置有管路(11)，且管路(11)的下方设置有工作台(12)，所述工作台(12)的内部设置有销孔(13)，且工作台(12)的右端下方设置有支撑板(14)，所述工作台(12)的下方设置有泵仓(15)，且泵仓(15)的内部设置有防腐泵(16)，所述泵仓(15)的右侧设置有储液仓(17)，且储液仓(17)的内部上方设置有温度感应器(18)，所述过滤器(19)的下方设置有加热管(20)，且过滤器(19)位于温度感应器(18)的下方。