[发明专利]一种改善LTCC基板盐雾可靠性的方法在审
申请号: | 201810155912.4 | 申请日: | 2018-02-23 |
公开(公告)号: | CN108387423A | 公开(公告)日: | 2018-08-10 |
发明(设计)人: | 李可;戴春雷;余强华 | 申请(专利权)人: | 深圳顺络电子股份有限公司 |
主分类号: | G01N1/28 | 分类号: | G01N1/28;G01N1/32;G01N17/00 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 方艳平 |
地址: | 518110 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种改善LTCC基板盐雾可靠性的方法,包括以下步骤:S1:采用粗抛光液对LTCC基板表面进行打磨到预设的粗糙度;S2:采用精抛液对步骤S1处理后的LTCC基板表面进行抛光处理。本发明提出的改善LTCC基板盐雾可靠性的方法,能够改善基板表面微观形貌缺陷、降低粗糙度和提高致密性。 | ||
搜索关键词: | 盐雾 粗糙度 基板表面 抛光处理 微观形貌 精抛液 抛光液 致密性 预设 打磨 | ||
【主权项】:
1.一种改善LTCC基板盐雾可靠性的方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:采用粗抛光液对LTCC基板表面进行打磨到预设的粗糙度;S2:采用精抛液对步骤S1处理后的LTCC基板表面进行抛光处理。
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