[发明专利]使用物理对准标记和虚拟对准标记进行对准有效
| 申请号： | 201810154272.5 | 申请日： | 2018-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN110191568B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 安妮·泰;伊菲斯·阿卜德尔拉扎克;陈赵健 | 申请（专利权）人： | 奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司 |
| 主分类号： | H05K1/02 | 分类号： | H05K1/02;H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 王晖;李丙林 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于加工电气器件(100)的对准的方法，其中，该方法包括：在电气器件(100)上限定至少三个物理对准标记(102)；基于所限定的至少三个物理对准标记(102)确定至少一个虚拟对准标记(104)；以及利用物理对准标记(102)中的至少三个和至少一个虚拟对准标记(104)中的至少一个进行对准以加工电气器件(100)。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 物理 对准 标记 虚拟 进行 | ||
【主权项】：
1.一种针对加工电气器件(100)进行对准的方法，其中，所述方法包括：在所述电气器件(100)上限定至少三个物理对准标记(102)；基于所限定的至少三个物理对准标记(102)确定至少一个虚拟对准标记(104)；利用所述物理对准标记(102)中的至少三个以及所述至少一个虚拟对准标记(104)中的至少一个进行对准以加工所述电气器件(100)。
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