[发明专利]快速扫描检测大面积光电器件的装置和方法有效
| 申请号： | 201810135927.4 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN108107337B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 钱森;高峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王卫忠;袁礼君 |
| 地址： | 100049 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种快速扫描检测大面积光电器件表面均匀性的装置和方法，装置主要用于对光电器件的均匀性进行快速扫描测试，包括光源装置以及定位架；光源装置包括驱动电源、多个子光源及多个导光件，驱动电源分别电连接各个子光源，驱动电源能依次点亮各个子光源；导光件是呈线状的定向导光件，导光件两端分别为接收端和输出端；各导光件接收端分别光连接一个光源；各导光件顺光电器件的表面间隔布置，导光件的位置信息代表被测样品表面的位置信息，且多个导光件出光方向对齐光电器件的表面法线。尤其适用于大面积的光电器件的均匀性快速扫描测试。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 扫描 检测 大面积 光电 器件 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种快速扫描检测大面积光电器件的装置，其主要用于对大面积光电器件进行均匀性扫描检测，其特征在于，包括光源装置以及定位架；所述光源装置包括驱动电源、多个子光源及多个导光件；所述驱动电源分别电连接各个子光源，所述驱动电源能依次点亮各个子光源；所述导光件是呈线状的定向导光件，所述导光件两端分别为接收端和输出端；各所述导光件接收端分别光连接一个所述子光源；所述定位架位于所述大面积光电器件端窗表面外；各所述导光件的输出端安装有光接头，各输出端光接头固定于所述定位架，各输出端光接头顺所述大面积光电器件的端窗表面间隔布置，各输出端光接头的位置逐一对应所述大面积光电器件端窗表面的各个待检测位置，且所述多个导光件出光方向对齐所述大面积光电器件的表面法线；在保持所述大面积光电器件静止避光情况下，利用所述光源装置以及所述定位架，依次点亮所述子光源，并通过各个所述导光件依次照射在所述大面积光电器件端窗表面的各个待检测位置，以此，对所述大面积光电器件进行快速扫描检测。
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