[发明专利]溶液回收装置及加工设备在审
| 申请号： | 201810122603.7 | 申请日： | 2018-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN108267937A | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 吕良 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种溶液回收装置，包括储液容器及至少一个消泡结构，每个消泡结构包括消泡容器及隔板，所述隔板设于所述消泡容器内进而将所述消泡容器分隔成相互连通的第一腔室及第二腔室，所述第一腔室的侧壁贯通开设输入口，所述第二腔室的侧壁贯通开设输出口，每个消泡容器的输出口与所述储液容器连通，所述隔板用于阻挡从所述输入口输入所述第一腔室的泡沫进入所述第二腔室。本发明实施例提供的溶液回收装置及加工设备，由于消泡结构消除了输入所述消泡结构内溶液的泡沫，使得进入所述储液容器内的溶液没有泡沫，提高了所述储液容器内溶液的洁净度，进而提高了加工良率本发明还提供一种具该溶液回收装置的加工设备。 | ||
| 搜索关键词： | 消泡 溶液回收装置 储液容器 第二腔室 第一腔室 加工设备 隔板 输出口 输入口 侧壁 连通 贯通 隔板设 洁净度 分隔 良率 阻挡 加工 | ||
【主权项】：
1.一种溶液回收装置，其特征在于，包括储液容器及至少一个消泡结构，每个消泡结构包括消泡容器及隔板，所述隔板设于所述消泡容器内进而将所述消泡容器分隔成相互连通的第一腔室及第二腔室，所述第一腔室的侧壁贯通开设输入口，所述第二腔室的侧壁贯通开设输出口，每个消泡容器的输出口与所述储液容器连通，所述隔板用于阻挡所述第一腔室中的泡沫进入所述第二腔室。
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