[发明专利]一种用于离子注入设备的辅助加热系统及方法有效
| 申请号： | 201810104711.1 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN108411273B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 张鑫磊;徐先新;张胜德;任思雨;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 邓聪权 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于离子注入设备的辅助加热系统，包括位于离子注入设备离子源部的气体预热室和离子源加热模块，所述离子源加热模块内置于离子源腔的腔壁内，所述离子源加热模块由多个加热模块构成。该技术方案通过控制离子源腔内温度的稳定性来改善离子带状束流的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离子 注入 设备 辅助 加热 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于离子注入设备的辅助加热系统，其特征在于，包括位于离子注入设备离子源部的气体预热室和离子源加热模块，所述离子源加热模块内置于离子源腔的腔壁内，所述离子源加热模块由多个加热模块构成。
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