[发明专利]一种液箱和液体循环装置在审
| 申请号： | 201810097819.2 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN110090471A | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;高玉英 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D19/02 | 分类号： | B01D19/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种液箱和液体循环装置。其中，液箱包括箱体、设置于所述箱体内的隔离板和连通所述箱体内部与外界环境的排气管；所述隔离板将所述箱体分隔成进液腔和出液腔，所述进液腔的底部与所述出液腔的底部相连通，所述进液腔的顶部与所述出液腔的顶部相连通；所述隔离板用于阻隔在所述进液腔产生的气泡流向所述出液腔，所述排气管用于排出溢出的所述气泡。本发明解决了手动排气无法完全避免气泡被泵体吸入循环管路，操作麻烦，且有液体泄漏风险的问题，本发明的液箱可实现自动排气，避免产生的气泡进入液体循环管路，降低液体泄露风险，结构简单且成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 出液腔 进液腔 隔离板 液体循环装置 液箱 种液 液体循环管路 手动排气 外界环境 吸入循环 箱体内部 液体泄漏 液体泄露 自动排气 排气管 泵体 分隔 排出 排气 溢出 连通 阻隔 | ||
【主权项】：
1.一种液箱，其特征在于，包括箱体、设置于所述箱体内的隔离板和连通所述箱体内部与外界环境的排气管；所述隔离板将所述箱体分隔成进液腔和出液腔，所述进液腔的底部与所述出液腔的底部相连通，所述进液腔的顶部与所述出液腔的顶部相连通；所述隔离板用于阻隔在所述进液腔产生的气泡流向所述出液腔，所述排气管用于排出溢出的所述气泡。
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