[发明专利]大口径反射光学系统中间像面检测装置及方法有效
| 申请号： | 201810095843.2 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN108181092B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 庞志海;樊学武;邹刚毅;马臻 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 唐沛 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大口径反射光学系统中间像面检测装置及方法，其解决了现有大口径反射光学系统装调过程中光学系统中间像面非完善成像、次镜平移倾斜的特殊组合状态、检测视场过于单一等技术问题。该装置包括干涉自准平面镜、干涉仪以及衍射平板；干涉自准平面镜设置在待测大口径反射光学系统次镜的正前方，干涉仪设置在待测大口径反射光学系统主镜的正后方，衍射平板设置在待测大口径反射光学系统主镜和次镜形成的中间像面与次镜之间。其检测方法是：1)将衍射平板放置在待测大口径反射光学系统的中间像面前方；2)中点视场的像差系数的测量；3)其余N‑1个视场像差系数的测量；4)通过N个视场像差系数来判定次镜位置是否装配正确。 | ||
| 搜索关键词： | 口径 反射 光学系统 中间 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种大口径反射光学系统中间像面检测装置，其特征在于：包括干涉自准平面镜、干涉仪以及衍射平板；所述干涉自准平面镜设置在待测大口径反射光学系统次镜的正前方，干涉仪设置在待测大口径反射光学系统主镜的正后方，所述衍射平板设置在待测大口径反射光学系统主镜和次镜形成的中间像面与次镜之间；衍射平板设置有补偿衍射区域、第一对准区域以及第二对准区域；所述补偿衍射区域为N个；第一个补偿衍射区域设置在衍射平板的中点，其余N‑1个补偿衍射区域沿着衍射平板的径向方向依次排列；第一对准区域为2N个，N≥1；每一个补偿衍射区域对应两个第一对准区域，两个第一对准区域分别位于补偿衍射区域的左右两侧且补偿衍射区域的口径与每一个第一对准区域的口径相同；补偿衍射区域、第二对准区域为透射形式的非对称衍射面，第一对准区域为反射形式非对称衍射面；所述补偿衍射区域相位参数引入的像差系数使中间像面对应视场完整成像；第一对准区域用于对准衍射平板和干涉仪；第二对准区域用于对准衍射平板和次镜。
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