[发明专利]一种光刻机照明控制测试系统及方法有效
| 申请号： | 201810090765.7 | 申请日： | 2018-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN108279553B | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 张友宝;马兴华;胡小邦;谢承科;黄立华;侯莉颖;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机照明控制测试系统及方法，控制测试系统包括功能控制模块、性能测试与处理模块、报告生成模块和安全监测模块；测试方法包括对光场性能和光瞳性能进行测试及处理，并将处理结果传输给控制中心模块；根据性能测试与处理结果，生成测试报告，并传输给控制中心模块；对气压信号和互锁信号进行监测，并传输给控制中心模块；接收控制中心模块的指令并执行等步骤。本发明能够快速高效地完成照明系统性能指标测试，并同时自动化给出测试报告，极大提高了集成装调过程的迭代速度。 | ||
| 搜索关键词： | 控制中心模块 测试系统 性能测试 照明控制 光刻机 安全监测模块 报告生成模块 处理结果传输 功能控制模块 接收控制中心 控制测试系统 照明系统性能 测试 传输 测试报告 处理模块 互锁信号 气压信号 生成测试 指标测试 场性能 迭代 光瞳 装调 自动化 指令 监测 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机照明控制测试系统，其特征在于，包括控制中心模块，功能控制模块、性能测试与处理模块、报告生成模块以及安全监测模块；所述的控制中心模块分别与所述的功能控制模块、性能测试与处理模块、报告生成模块和安全监测模块相连；所述的功能控制模块，用于接收控制中心模块的指令并执行；所述的性能测试与处理模块，用于光场性能测试和光瞳性能测试，并进行处理，同时将处理结果传输给所述的控制中心模块；所述的报告生成模块，接收由所述的控制中心模块传递的所述的性能测试与处理模块的处理结果，并生成测试报告，同时传输给所述的控制中心模块；所述的安全监测模块，用于气压信号监测和互锁信号监测，并传输给所述的控制中心模块。
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