[发明专利]双定子固定式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法有效

专利信息
申请号: 201810081814.0 申请日: 2018-01-29
公开(公告)号: CN108199613B 公开(公告)日: 2020-06-02
发明(设计)人: 程廷海;杨伟雄;卢晓晖;唐晚静;杨晨;邢辉达;张智威 申请(专利权)人: 长春工业大学
主分类号: H02N2/04 分类号: H02N2/04;H02N2/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 130012 吉林*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 一种双定子固定式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法,以解决当前压电粘滑直线马达由于采用单定子驱动所导致的输出推力小、行程短及精度低等技术问题。本发明由斜楔形定子、双导轨式动子、滑动凸台、加载装置和基座组成。所述斜楔形定子通过产生侧向位移,调整其与双导轨式动子之间的接触正压力,以实现对摩擦力的综合调控;同时,本发明通过不同非对称电信号组合激励斜楔形定子,可实现输出加强型及运动急停型等多种驱动模式。本发明具有结构简单、负载能力强,且运动稳定等特点,在光学精密仪器、半导体加工等微纳精密驱动技术领域中具有很好的应用前景。
搜索关键词: 定子 固定 精密 压电 直线 马达 及其 驱动 方法
【主权项】:
1.一种双定子固定式精密压电粘滑直线马达,其特征在于:该双定子固定式精密压电粘滑直线马达由斜楔形定子(1)、双导轨式动子(2)、滑动凸台(3)、加载装置(4)和基座(5)组成;其中,两个以压电叠堆为驱动源的斜楔形定子(1)通过基座(5)前端部对应的螺纹孔并联固定在基座(5)上,双导轨式动子(2)安装在滑动凸台(3)上,滑动凸台(3)安装在基座(5)上,加载装置(4)安装在基座(5)后端部。
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