[发明专利]MEMS压电扬声器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810081204.0 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN110085735A | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 李俊红 | 申请（专利权）人： | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 曹玲柱 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥市新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS压电扬声器及其制备方法。其中，MEMS压电扬声器，包括：基底，其中央区域为空心区域；有机振动膜层，位于基底的空心区域的上方，与基底存在间距；以及结构梁，呈辐条状分布，形成于基底之上，支撑有机振动膜层，该结构梁自下而上依次包含：复合介质层和压电单元，在结构梁之间的空隙部分为结构槽；其中，结构梁和有机振动膜层构成压电复合振动膜。该MEMS压电扬声器的结构槽使得压电复合振动膜的应力得到释放，同时结构梁上的压电单元在电负载的作用下，容易使整个压电复合振动膜产生较大幅度的振动，从而提高压电扬声器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 压电扬声器 结构梁 基底 压电复合 振动膜层 振动膜 空心区域 压电单元 结构槽 制备 辐条状分布 复合介质层 中央区域 电负载 灵敏度 释放 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS压电扬声器，包括：基底，其中央区域为空心区域；有机振动膜层，位于基底的空心区域的上方，与基底存在间距；以及结构梁，呈辐条状分布，形成于基底之上，支撑有机振动膜，该结构梁自下而上依次包含：复合介质层和压电单元，在结构梁之间的空隙部分为结构槽；其中，所述结构梁和有机振动膜层构成压电复合振动膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽奥飞声学科技有限公司，未经安徽奥飞声学科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810081204.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
