[发明专利]一种单晶生产炉

摘要

本发明公开了一种单晶生产炉，所属单晶生产设备领域，提供一种快速生产单晶体的一炉多棒式的单晶生产炉。炉体内设置石墨坩埚，石墨坩埚内部设置石英坩埚，石墨坩埚外部设置加热装置，炉体底部设置移动导轨，石墨坩埚设置在所述的移动导轨上，所述炉体侧壁设置有炉门，所述的移动导轨通向所述的炉门；石英坩埚上部设置有隔离装置，隔离装置由隔板分割成均匀排列的小的圆柱状隔离体，圆柱状隔离体上下相通，圆柱状隔离体呈蜂窝状圆形排列，炉体顶部设置有送气管，炉体内部的送气管末端连接有圆形喷头，炉体底部设置有排气管，排气管上连接有开关阀。其主要用途是快速生产单晶硅材料。

主权项

1.一种单晶生产炉，其特征在于：包括炉体(01)、石墨坩埚(02)、石英坩埚(03)、隔离装置(04)、送气管(05)，所述炉体(01)内设置有石墨坩埚(02)，所述石墨坩埚(02)内部设置有石英坩埚(03)，所述石墨坩埚(02)与石英坩埚(03)紧密相连，所述石墨坩埚(02)外部设置有加热装置(06)，所述加热装置(06)与所述的石墨坩埚(02)紧密相连，所述加热装置(06)均匀的贴合在所述的石墨坩埚(02)外壁，所述炉体(01)底部设置有移动导轨(07)，所述石墨坩埚(02)设置在所述的移动导轨(07)上，所述炉体(01)侧壁设置有炉门(09)，所述的移动导轨(07)通向所述的炉门(09)；所述石英坩埚(03)上部设置有隔离装置(04)，所述隔离装置(04)的横截面尺寸与所述石英坩埚(03)的横截面尺寸相同，所述隔离装置(04)由隔板分割成均匀排列的小的圆柱状隔离体(11)，所述圆柱状隔离体(11)上下相通，所述圆柱状隔离体(11)呈蜂窝状圆形排列，所述隔离装置(04)的高度高于所述石英坩埚(03)的高度，所述隔离装置(04)的顶部连接有拉升装置，所述拉升装置包括多组固定铁链(12)、电动机(13)，所述电动机(13)连接有转动辊(14)，所述的多组固定铁链(12)一端均匀连接在所述的隔离装置(04)，另一端链接在所属的转动辊(14)上；所述炉体(01)顶部设置有送气管(05)，所述炉体(01)外部的送气管(05)连接有惰性气体生产设备，所述炉体(01)内部的送气管(05)末端连接有圆形喷头(15)，所述炉体(01)底部设置有排气管(16)，所述排气管(16)上连接有开关阀(17)。