[发明专利]冷阴极电弧等离子源及非接触引弧方法有效
| 申请号： | 201810065410.2 | 申请日： | 2018-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN108286038B | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 王向红;黄志宏;吴百中;陈上挺 | 申请（专利权）人： | 温州职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 张火春 |
| 地址： | 325035 浙江省温州市瓯海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了冷阴极电弧等离子源及非接触引弧方法，该等离子源包括阴极基板、水冷铜板、铜板压环、阴极靶、压靶环、限弧组件、线圈组件和点火组件；水冷铜板设于阴极基板上，阴极靶设于水冷铜板上；铜板压环设于水冷铜板周围，且铜板压环的厚度大于水冷铜板的厚度；压靶环设于阴极靶周围，且与阴极靶周围形成一空腔；压靶环上均布有与该空腔连通的若干进气孔；限弧组件设于阴极靶周围；线圈组件设于阴极基板下；阴极基板和阴极靶中心均设有中心通孔，点火组件设于该中心通孔内。本发明等离子源不存在移动部件，制作成本低，方便安装维护，且节省安装空间；本发明引弧方法可避免因阴极和阳极过近所导致的不利影响。 | ||
| 搜索关键词： | 铜板 阴极靶 水冷 等离子源 阴极基板 靶环 压环 引弧 冷阴极电弧 点火组件 线圈组件 中心通孔 非接触 阴极 安装空间 安装维护 空腔连通 移动部件 阳极 进气孔 一空腔 均布 制作 | ||
【主权项】：
1.冷阴极电弧等离子源，其特征是，包括：阴极基板、带冷却水道的水冷铜板、铜板压环、阴极靶、压靶环、限弧组件、线圈组件和点火组件；所述水冷铜板设于所述阴极基板上，所述阴极靶设于所述水冷铜板上；所述铜板压环设于所述水冷铜板周围，且铜板压环的厚度大于水冷铜板的厚度，用来与水冷铜板形成高度差；所述压靶环设于所述阴极靶周围，且与所述阴极靶周围形成一空腔；所述压靶环上均布有与该空腔连通的若干进气孔；所述限弧组件设于所述阴极靶周围，用来将阴极弧斑限制在阴极靶的表面运动；所述线圈组件设于所述阴极基板下，用来在阴极靶表面产生与阴极靶表面垂直的磁场；所述阴极基板和所述阴极靶中心均设有中心通孔，点火组件设于该中心通孔内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于温州职业技术学院，未经温州职业技术学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810065410.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
