[发明专利]用于面对等离子体部件的电子反射率测试平台及测试方法在审
| 申请号： | 201810025140.2 | 申请日： | 2018-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN108226197A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 訾鹏飞;曹磊;周自波;许铁军;李磊;韩乐;刘严伟;姚达毛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N23/20 | 分类号： | G01N23/20 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于面对等离子体部件的电子反射率测试平台及测试方法，包括有带有通水管道的热沉，热沉的进水口与出水口分别设置有入口温度传感器和出口温度传感器，热沉被固定安装在绝热材料制成的隔热板上，热沉上方固定安装待测试材料制成的测试件，测试件在不同位置设有测试件温度传感器，测试件温度传感器通过固定座固定在隔热板上，测试平台放置在真空室中，真空室安装有电子枪提供电子对测试件的电子枪扫描区域进行扫描轰击。本发明可以有效的计算出测试件材料的电子反射率，同时得到材料在固定的冷却能力下，不同的电子扫描功率密度对应的材料表面温度，所得结果对深入研究材料溅射问题具有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 测试件 热沉 等离子体 反射率测试 温度传感器 电子枪 隔热板 真空室 出口温度传感器 入口温度传感器 测试 测试材料 测试平台 电子扫描 绝热材料 冷却能力 扫描区域 通水管道 研究材料 重要意义 出水口 反射率 固定的 固定座 进水口 溅射 轰击 扫描 | ||
【主权项】：
1.一种用于面对等离子体部件的电子反射率测试平台，其特征在于：包括有真空室，在真空室内设有带有通水管道的热沉，在所述的热沉的进水口与出水口分别设置有入口温度传感器和出口温度传感器，在热沉上方固定安装待测试材料制成的测试件，在所述测试件的不同位置处分别设有测试件温度传感器，在所述的真空室内安装有电子枪，所述的电子枪对测试件的电子扫描区域进行扫描轰击。
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