[发明专利]类金刚石膜的制备方法有效
| 申请号： | 201810021855.0 | 申请日： | 2018-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN108103474B | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 孙海瑜;连崑;张敏;张慧 | 申请（专利权）人： | 苏州冠洁纳米抗菌涂料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/02 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 李广;耿丹丹 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种类金刚石膜的制备方法，包括以下步骤：将金属盐溶于溶剂中，然后将天然纤维浸入其中，得到含金属盐的天然纤维；将天然纤维与基底在保护气氛下于290‑800℃下加热，使得天然纤维升华为碳蒸气后沉积到基底表面，在基底表面形成类金刚石膜。本发明以天然纤维为碳源，采用非真空、非纯气体条件下在各种形状样品表面全方位制备DLC薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 天然纤维 制备 类金刚石膜 基底表面 浸入 含金属盐 金刚石膜 形状样品 纯气体 非真空 金属盐 碳蒸气 溶剂 基底 沉积 加热 升华 | ||
【主权项】：
1.一种类金刚石膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将金属盐溶于溶剂中，然后将天然纤维浸入其中，得到含金属盐的天然纤维；(2)将所述天然纤维与基底在保护气氛下于290‑800℃下加热，使得天然纤维分解为碳蒸气后沉积到所述基底表面，在所述基底表面形成所述类金刚石膜。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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