[发明专利]一种抽真空装置、抽真空系统及其抽真空方法在审
| 申请号： | 201810009145.6 | 申请日： | 2018-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN108050043A | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 杨丽;蔡书汉;周益春;谢志航;朱旺 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08;C23C14/30;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 陈超 |
| 地址： | 411105 *** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抽真空装置(100)，包括：低温泵(101)，其吸气口连通到真空室(200)的排气口，用于对真空室(200)抽气以使真空室(200)内达到真空；前驱泵(102)，其吸气口分两路，一路连通至低温泵(101)的排气口，另一路连通至真空室(200)的排气口；前级阀(103)，其设置在前驱泵(102)与真空室(200)之间的管路上；再生阀(104)，其设置在前驱泵(102)与低温泵(101)之间的管路上。本发明的抽真空装置利用低温泵与前驱泵同时工作，提高了该装置的抽气效率，通过前驱泵及时抽出低温泵中捕集到的气体和蓄积的气体，降低了低温泵的热负载，缩短了低温泵的再生时间，使得低温泵能够在高温通气环境的环境下长期使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 装置 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抽真空装置(100)，其特征在于，包括：低温泵(101)，其吸气口连通到真空室(200)的排气口，用于对所述真空室(200)抽气以使所述真空室(200)内达到真空；前驱泵(102)，其吸气口分两路，一路连通至所述低温泵(101)的排气口，另一路连通至所述真空室(200)的排气口；前级阀(103)，其设置在所述前驱泵(102)与所述真空室(200)之间的管路上；再生阀(104)，其设置在所述前驱泵(102)与所述低温泵(101)之间的管路上。
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