[发明专利]离子源装置有效
| 申请号： | 201780095040.0 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN111133551B | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 日朝俊一;谷口爱实 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | H01J27/20 | 分类号： | H01J27/20;H01J37/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 任玉敏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 离子源装置(10A)具备：阴极电极(13b、13b)，释放电子；阳极电极(13a)，具有引出离子的狭缝(13aa)；引出电极(15)，沿着从阳极电极(13a)引出的离子的引出方向与阳极电极(13a)分开配置，以便在与阳极电极(13a)之间形成电位差；及中间电极(16)，设置于阳极电极(13a)与引出电极(15)之间。阳极电极(13a)与中间电极(16)之间的第1电位差(ΔV1)大于阳极电极(13a)与引出电极(15)之间的第2电位差(ΔV2)。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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