[发明专利]镜面裸片图像识别系统

摘要

镜面裸片图像识别系统从晶圆(30)的多个裸片(31)中区别于有缺损的镜面裸片和生产裸片来识别形状为与有图案的生产裸片相同的四边形状且无图案和缺损的镜面裸片，该镜面裸片图像识别系统具备：相机(42)，将晶圆的至少一部分收于视场而进行拍摄；及图像处理装置，对由上述相机拍摄到的图像进行处理而从该图像中的各裸片中区别于其他裸片来识别无缺损的镜面裸片。该图像处理装置取得由上述相机拍摄到的图像中的包含相当于各裸片的四个角部分和中央部分的区域在内的至少五个区域的亮度，判定是否可视为至少五个区域的亮度恒定，将可视为至少五个区域的亮度恒定的裸片识别为无缺损的镜面裸片。

主权项

1.一种镜面裸片图像识别系统，从以分割成多个裸片的方式被切割的晶圆的多个裸片中，区别于有缺损的镜面裸片和生产裸片来识别形状为与有图案的生产裸片相同的四边形状且无图案和缺损的镜面裸片，所述镜面裸片图像识别系统的特征在于，具备：相机，将晶圆的至少一部分收于视场内而进行拍摄；及图像处理装置，对由所述相机拍摄到的图像进行处理而从所述图像中的各裸片中区别于其他裸片来识别无缺损的镜面裸片，所述图像处理装置取得所述图像中的包含相当于各裸片的四个角部分和中央部分的区域在内的至少五个区域的亮度，判定是否可视为至少五个区域的亮度恒定，将可视为至少五个区域的亮度恒定的裸片识别为无缺损的镜面裸片。