[发明专利]控制用于半导体基板的传送和大气存储的运送盒的密封性的装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于监控至少一个用于半导体基板(3)的传送和大气存储的运送盒(2)的泄漏密封性的装置(1)，所述运送盒(2)包括具有开口(5)的刚性壳体(4)、用于关闭开口(5)的可移除门(6)和至少两个通气端口(8、9)。控制装置(1)包括构造成联接到运送盒(2)的至少一个接口(20)，该接口(20)包括至少两个连接头(23、24)，至少一个连接头由构造成接合在运送盒(2)的通气端口(8)中的测量头(23)构成，该测量头(23)包括经由至少一个孔(30)打开的突出的端部件(29)和围绕端部件(29)并布置在至少一个孔(30)上游的周向密封元件(31)，运送盒(2)的所有通气端口(8、9)联接到接口(20)的连接头(23、24)。本发明还涉及一种用于监控至少一个运送盒的密封性的方法。

主权项

1.用于控制至少一个用于半导体基板(3)的传送和大气存储的运送盒(2)的密封性的装置(1)，所述运送盒(2)包括至少两个通气端口(8、9)，其特征在于，所述控制装置(1)包括至少一个接口(20)，该至少一个接口构造成联接到所述运送盒(2)，该接口(20)包括：‑至少两个连接头(23、24)，其中至少一个连接头由测量头(23)构成，该测量头构造成接合在所述运送盒(2)的通气端口(8)中，该测量头(23)包括：‑突出的端部件(29)，该端部件通过至少一个孔(30)打开，和‑围绕该端部件(29)的周向密封元件(31)，‑该运送盒(2)的所有通气端口(8、9)联接到所述接口(20)的连接头(23、24)。