[发明专利]用于支撑MEMS部件的装置、用于支撑包括该装置的系统的该装置的阵列、用于制造支撑MEMS部件的装置的方法，和围绕MEMS部件的壁的用途在审
| 申请号： | 201780062711.3 | 申请日： | 2017-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN109891574A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | I.布伦纳;T.阿诺德;P.戈吉洛特 | 申请（专利权）人： | 梅斯瑞士公司 |
| 主分类号： | H01L23/00 | 分类号： | H01L23/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 贺紫秋 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于支撑MEMS部件的装置，尤其是压力传感器，其具有由陶瓷形成的基板，在基板上的MEMS部件和形成用于围绕MEMS部件的腔的壁，其中，壁由经机加工的陶瓷腔阵列形成。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 基板 压力传感器 机加工 陶瓷腔 陶瓷 制造 | ||
【主权项】：
1.一种用于支撑MEMS部件(1)的装置，所述MEMS部件尤其是压力传感器，所述装置具有：由陶瓷形成的基板(2)；在基板(2)上的MEMS部件(1)；形成用于围绕MEMS部件(1)的腔的壁(4)，其特征在于，壁(4)由经机加工的陶瓷腔阵列形成。
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