[发明专利]研磨液组合物有效
| 申请号： | 201780060793.8 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN109831914B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 土居阳彦;大山翼 | 申请（专利权）人： | 花王株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/3105;B24B37/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王永红 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够确保研磨速度、且提升研磨选择性及抑制研磨不均的研磨液组合物。本发明涉及一种研磨液组合物，其含有氧化铈粒子A、寡糖B及水，上述寡糖B是包含经3个以上且5个以下的葡萄糖键合而成的糖，且经8个以上的葡萄糖键合而成的糖的含量为27质量％以下的寡糖。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 | ||
【主权项】：
1.一种研磨液组合物，其含有氧化铈粒子A、寡糖B及水，所述寡糖B是包含经3个以上且5个以下的葡萄糖键合而成的糖，且经8个以上的葡萄糖键合而成的糖的含量为27质量％以下的寡糖。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于花王株式会社，未经花王株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780060793.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
