[发明专利]控制装置在审
| 申请号： | 201780053423.1 | 申请日： | 2017-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN109643070A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | M.霍尔兹;J.霍恩;K.锡罗瓦特卡 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及具有多个传感器(32i)和/或致动器(33i)的组装件(30)的控制装置(31)，该控制装置(31)包括至少一个第一控制单元(34)，该至少一个第一控制单元(34)设计为适合真空的，并且该至少一个第一控制单元(34)具有分裂和/或合并信号的信号分配器以及将数字信号变换为模拟信号和/或将模拟信号变换为数字信号的转换器。 | ||
| 搜索关键词： | 控制装置 转换器 模拟信号变换 数字信号变换 信号分配器 合并信号 模拟信号 数字信号 致动器 组装件 传感器 分裂 | ||
【主权项】：
1.一种控制装置(31)，所述控制装置(31)用于具有多个传感器(32i)和/或致动器(33i)的组装件(30)，所述控制装置(31)包括：1.1.至少一个第一控制单元(34)，所述至少一个第一控制单元(34)1.1.1.设计为适合真空的，1.1.2.具有分裂和/或组合信号的分配器，并且1.1.3.具有将数字信号变换为模拟信号和/或将模拟信号变换为数字信号的变换器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司，未经卡尔蔡司SMT有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780053423.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：照明光学系统、光刻装置以及物品制造方法
- 下一篇：对准方法
