[发明专利]氯硅烷聚合物的稳定化方法在审
| 申请号： | 201780051456.2 | 申请日： | 2017-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN109641754A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 田中康智;大塚悠太;久保田涉;石崎雅人;赤崎梢 | 申请（专利权）人： | 株式会社IHI |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 陈彦;张默 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 能够不生成固体氯硅烷聚合物，容易地使氯硅烷聚合物稳定化。一种使利用氯硅烷系气体的化学气相沉积法的工序中副生成的氯硅烷聚合物稳定化的方法，包括使氯硅烷聚合物与醇接触而分解为醇盐、氯化氢和氢并且在醇中稀释的工序(S11)，以及使醇盐水解的工序(S12)。 | ||
| 搜索关键词： | 氯硅烷 聚合物 聚合物稳定化 化学气相沉积 氯硅烷系 氯化氢 稳定化 盐水解 稀释 醇盐 分解 | ||
【主权项】：
1.一种使利用氯硅烷系气体的化学气相沉积法的工序中副生成的氯硅烷聚合物稳定化的方法，包括使氯硅烷聚合物与醇接触而分解为醇盐、氯化氢和氢并且在醇中稀释的工序，以及使所述醇盐水解的工序。
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