[发明专利]线栅偏振器制造方法有效
| 申请号： | 201780015199.7 | 申请日： | 2017-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN108885289B | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | D·马克莱;建峰·陈 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G02B1/11 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开内容一般涉及用于使用干涉光刻制造用于LCD的线栅偏振器的系统和方法，所述系统和方法也可用于产生大面积光栅图案。在一个实施方式中，一种方法包括：在铝涂覆的平板显示器基板上方沉积底部抗反射涂覆层；在底部抗反射涂覆层上方沉积光刻胶层；和利用来自相位光栅掩模的图像将光刻胶层曝光。利用相位光栅掩模的曝光通过使用半Dyson光学系统将来自相位光栅掩模的±1衍射级成像到基板上来完成。多个半Dyson系统一般并行地用于图案化大面积基板的线栅偏振器的精细的几何线和空间。每个半Dyson系统包括主镜、正透镜和掩模版。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于图案化平板显示器的系统，包括：激光测量仪；激光测量镜；和多个半Dyson系统，其中每个半Dyson系统包括：主镜；正透镜；和掩模版。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780015199.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：光学反射膜
- 下一篇：带光学补偿层的偏振片以及使用了该偏振片的有机EL面板
