[实用新型]防倒吸镀膜装置

摘要

一种真空镀膜技术领域的防倒吸镀膜装置，包括：阀门组件、真空泵、具有真空腔的箱体以及设置于真空腔内的转鼓，其中，转鼓与真空泵之间连接有化学源抽吸管道，真空腔与真空泵之间连接有腔室抽真空管道；所述的阀门组件包括：第一阀门、第二阀门与同步控制机构，第一阀门设于化学源抽吸管道上，第二阀门设于腔室抽真空管道上，同步控制机构连接第一阀门与第二阀门同步控制两阀门的开启与关闭。本实用新型通过化学源抽吸管道和腔室抽真空管道联动控制，避免抽真空时一侧管道压力过小倒吸导致化学源污染。

主权项

1.一种防倒吸镀膜装置，用于向膜产品上喷涂镀膜原料，其特征在于，包括：箱体，其具有真空腔；转鼓，其可转动地设置在所述真空腔内，所述膜产品贴附在所述转鼓的外表面以随所述转鼓运动；真空泵，其设置于箱体外；化学源抽吸管道，其连接于转鼓与真空泵之间；腔室抽真空管道，其连接于真空腔与真空泵之间；阀门组件，其包括第一阀门、第二阀门与同步控制机构，其中，第一阀门设于化学源抽吸管道上，在第一阀门开启时，镀膜气体从转鼓经化学源抽吸管道输出至真空泵，在第一阀门关闭时，镀膜气体截止于第一阀门处；第二阀门设于腔室抽真空管道上，在第二阀门开启时，真空腔内的气体从真空腔经腔室抽真空管道输出至真空泵，在第二阀门关闭时，真空腔内的气体截止于第二阀门处；同步控制机构连接第一阀门与第二阀门，所述同步控制机构同步控制第一阀门与第二阀门的开启与关闭。