[实用新型]晶圆盒之间晶圆片转移装置

摘要

本实用新型揭示了一种晶圆盒之间晶圆片转移装置，包括晶圆盒移动部、机械手部、第一检测部、第二检测部和第三检测部，晶圆盒移动部用于将晶圆盒移动到操作工位，机械手部用于将晶圆盒里面的晶圆片取出或放入，且水平垂直于晶圆盒移动的方向滑动设置，第一检测部包括第一传感器，用于对位于操作工位上的晶圆盒内的晶圆片侧面进行扫描，且竖直垂直于晶圆盒移动的方向滑动设置；第二检测部包括第二传感器，用于对位于操作工位上的晶圆盒内的晶圆片前部进行扫描，第三检测部包括第三传感器，用于对位于机械手部上的晶圆片后部进行扫描，通过设置上述传感器，使得晶圆片在转移的过程中出现问题能够及时停机调整，破片率极低。

主权项

1.一种晶圆盒之间晶圆片转移装置，其特征在于，包括：晶圆盒移动部，用于将晶圆盒移动到操作工位；机械手部，用于将晶圆盒里面的晶圆片取出或放入，且水平垂直于晶圆盒移动的方向滑动设置；第一检测部，包括第一传感器，用于对位于操作工位上的晶圆盒内的晶圆片侧面进行扫描，且竖直垂直于晶圆盒移动的方向滑动设置；第二检测部，包括第二传感器，用于对位于操作工位上的晶圆盒内的晶圆片前部进行扫描；第三检测部，包括第三传感器，用于对位于机械手部上的晶圆片后部进行扫描；以及控制部，与所述晶圆盒移动部、所述机械手部、所述第一检测部、所述第二检测部、所述第三检测部连接，所述控制部控制所述晶圆盒移动部带动晶圆盒移动，控制所述机械手部水平垂直于晶圆盒移动的方向滑动，以将晶圆盒中的晶圆片取出或者放入，还控制所述第一传感器竖直垂直于晶圆盒移动的方向滑动，并根据所述第一传感器、所述第二传感器和所述第三传感器的检测情况控制操作的运行和停止；其中，所述操作工位位于所述机械手部滑动的方向和晶圆盒移动的方向的交汇处。