[实用新型]一种一体式封闭式石墨盒

摘要

一种一体式封闭式石墨盒，包括石墨盒本体、与石墨盒本体相匹配的石墨盖和用于放置预沉积衬底的石墨垫片，石墨盖盖设在石墨盒本体上；石墨垫片设置在石墨盒本体中并将石墨盒本体分隔成上腔体和用于放置可气化物质的下腔体，石墨垫片上均匀分布有通孔，石墨垫片上开设有用于放置预沉积衬底的横槽和/或纵槽。本实用新型沉积薄膜更均匀、可重复性更高；气‑固反应浓度高，加大了反应压强，反应更迅速；可气化物质与预沉积衬底接触更均匀、充分。

主权项

1.一种一体式封闭式石墨盒，其特征在于：包括石墨盒本体(1)、与石墨盒本体相匹配的石墨盖(2)和用于放置预沉积衬底的石墨垫片(3)，石墨盖(2)盖设在石墨盒本体(1)上；石墨垫片(3)设置在石墨盒本体(1)中并将石墨盒本体(1)分隔成上腔体和用于放置可气化物质的下腔体，石墨垫片(3)上均匀分布有通孔(3.1)，石墨垫片上开设有用于放置预沉积衬底的横槽(3.2)和/或纵槽(3.3)。