[实用新型]一种12寸晶元去气泡抽真空烤箱

摘要

本实用新型公开了一种12寸晶元去气泡抽真空烤箱，包括箱体，所述箱体前侧设有单扇门，所述单扇门一侧设有控制箱，所述控制箱上设有操作面板，所述操作箱上设有显示屏。本实用新型通过采用不锈钢材料的工作室，便于清洁卫生，使用空间大，采用硅橡胶材料制成的密封条，人性化的环保意识，保护使用人员的身体健康，设有进气电磁阀和手动调压阀气路辅助装置，同时利用抽气管进行氮气填充，利用氮气不活泼的化学性质，提升了使用时的安全性，通过采用数字式的电阻真空计配合压力传感器，利用工作室内气体分子的热传导，在高压时，利用气体分子的对流传热特性，使得电阻规的电阻随所测系统的压强变化而变化，从而提高了测量精度。

主权项

1.一种12寸晶元去气泡抽真空烤箱，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)前侧设有单扇门(2)，所述单扇门(2)一侧设有控制箱(3)，所述控制箱(3)上设有操作面板(4)，所述操作面板上设有显示屏(5)，所述显示屏(5)底部设有电阻真空计(6)，所述箱体(1)内腔设有工作室(7)，所述工作室(7)一侧设有手动调压阀(8)，所述工作室(7)外壁设有保温层(9)，所述保温层(9)外壁设有支撑肋(10)，所述工作室(7)一端设有密封条(11)以及另一端设有抽气管(12)，所述抽气管(12)内设有进气电磁阀(16)，所述工作室(7)内腔设有压力传感器(13)，所述压力传感器(13)一侧设有管道(14)，所述管道(14)一端设有真空泵(15)，所述箱体(1)底部设有移动脚轮(17)，所述移动脚轮(17)一侧设有水平支撑架(18)。